主要指标
Max. Scan Length最大扫描长度 : 30mm (linear) 0.38?
? Max. Data Points最大扫描数据点 : 120,000 ? Vertical Range垂直范围 :800μm max.
? Stylus Force探针力: 0.03-10mg (programmable) ? 30 +Analytical Functions and height histogram
? Stylus Tip Radius针尖 2 microns standard 30多种分析功能与高度直方图
? Color Camera 彩色图像 ?5? Repeatability : guaranteed
?Sample Stage : 140mm Dia 5? 重复性
样品台大小:直径 140mm ?
主要功能
XP-100轮廓膜厚分析仪用于薄膜厚度、表面粗糙度、薄膜应力等性能的精确测量,是薄膜材料测试分析的重要工具