台阶仪 D-300

设备特点

· 台阶高度：几纳米至1000μm

· 低触力：0.5至15mg

· 视频：500万像素高分辨率彩色摄像头

· 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真

· 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

· 紧凑尺寸：最小占地面积的台式探针式轮廓仪

    主要应用

· 台阶高度：2D台阶高度

· 纹理：2D粗糙度和波纹度

· 形式：2D翘曲和形状

· 应力：2D薄膜应力

    应用领域

· 半导体和复合半导体

· SIMS：二次离子质谱

· LED：发光二极管

· 太阳能

· MEMS：微电子机械系统

· 汽车

· 医疗设备